2025
12-25
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积塔半导体取得一种光阻自动回收系统专利，提高光阻利用率 NEW
国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司取得一项名为“一种光阻自动回收系统”的专利，授权公告号CN 223598109 U，申请日期为2025年2月。专利摘要显示，本实用新型提供了一种光阻自动回收系统，包括：一容器，用于自第一氮气管路接收并存储光阻；一光阻存储中间箱，用于从容器接收光阻，并具有一从光阻存储中间箱排出的第一排放管；一过滤器，用于从光阻存储中间箱接收光阻，并具有一从过滤器排出的第二排放管；一光阻回收罐，用于接收光阻存储中间箱和/或过滤器的光阻；一第二氮气管路...
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